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日立ハイテク社製最新型電子顕微鏡を用いた授業プログラム開発のキックオフミーティングを開催しました

　2月17日(月)に日立ハイテク社製の最新型電子顕微鏡を用いた授業プログラム開発のキックオフミーティングを行いました。
　国立高等専門学校機構では半導体分野の人材育成事業を実施しており、その実践校として、本校では電気・電子系を中心に同事業に取り組んでいます。この事業の一環として、今回は日立ハイテク社様にご支援いただき、同社製最新型の走査型電子顕微鏡を用いた授業プログラム開発のキックオフミーティングを開催しました。
　半導体製造開発において走査型電子顕微鏡は欠かせない機材となっていますが、今回用いた電子顕微鏡は遠隔の操作が可能であり、本校と日立ハイテク社のラボをインターネットで接続して、学生が実際に操作を行うことができます。また分解能も非常に高く、10nm（ナノメートル：1メートルの10億分の1）程度の金微粒子を明瞭に観察することも可能です。
　一関高専では、半導体分野の人材育成事業において、半導体関連企業と連携し、工場見学・インターンシップなどを実施して、半導体産業を支える優秀な人材の育成・輩出に取り組んでいきます。

　　　　　　今回用いた日立ハイテク社製超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡 SU8700
　　　　　　　　　　　　　　　　＊情報提供：(株)日立ハイテクHPより

キックオフミーティングの様子